高纯气体是指经过精密净化处理，纯度达到特定标准的气体。高纯气体在现代工业和科学研究中有着广泛的应用，其作用主要有以下几个方面：
作为气相沉积的反应气体：高纯气体可以作为气相沉积的反应气体，用于制备各种薄膜、涂层等材料，广泛应用于半导体、光伏、显示器等领域。
作为气体检测的标准气体：高纯气体可以作为气体检测的标准气体，用于校准气体检测仪器，确保气体检测的准确性。
作为清洁气体：高纯气体可以作为清洁气体，用于清洗和净化各种设备和工艺过程，提高设备和工艺过程的稳定性和可靠性。
作为实验室气体：高纯气体可以作为实验室气体，用于各种实验和研究，如气相色谱、质谱、光谱等。
总之，高纯气体在现代工业和科学研究中有着广泛的应用，其作用主要是作为气相沉积的反应气体、气体检测的标准气体、清洁气体和实验室气体等。
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